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微波等離子體發生器原理
1 微波源 2 環形器 3 自動阻抗調節器 4波導 5 等離子噴管 6 短路活塞
微波等離子體炬的原理是將微波能量通過匹配調節器，聚集在等離子噴管處，激發并維持等離子體
傳統微波等離子發生器的框圖如上，在實際應用中，微波等離子體激勵裝置存在以下應用難點
1、系統復雜，裝置體積較大
2、微波激勵等離子放電難度較大，難以實現自激勵點火
3、微波等離子的維持對于阻抗及其敏感，等離子體處理過程中，需要實時調節阻抗，來實現對于等離子 體炬的工作維持.
降低系統復雜度，提高微波等離子體的激勵與維持穩定性，是微波等離子體應用的關鍵
常壓氮氣微波低溫等離子炬 應用, 性能和指標
主要應用及其優勢
主要應用：在線等離子處理，材料表面改性及活化
差異化優勢：
超低溫常壓等離子方案
定點飽和測溫最低可達400C（同樣的測試方法市面上標稱700C-900C的常壓中頻等離子實測為
2500C-3000C）
等離子射流溫度低于市場上大多數的常壓氬氣等離子
優越及穩定的處理效果
最低使用成本的超低溫常壓等離子方案
長射流，高通過性
真正的電中性、無電損傷的等離子方案
材料適應面廣，適合多種材料的常壓等離子表面處理
處理效果維持時間長，接近射頻真空方案
性能與指標– 200W, 氮氣微波等離子炬
等離子體最低溫度: 40 Deg.C
等離子體射流長度：25~35mm
等離子處理范圍: 直徑 10~25mm
工作功率范圍：10~180W （推薦40~120W）
氣體流量: 10~35 slm (推薦20~30slm)
微波炬及射流形態
微波源機箱外形
